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维萨拉 BAROCAP® 压力传感器技术
日期：2024-11-24 12:21
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摘要：
维萨拉 BAROCAP® 是维萨拉于 1985 年第 一次推出一种硅基微型机械压力传感器，可以在从气象到工业测量的广泛应用中提供可靠的性能。因为结合 采用了两项强大技术 —— 单晶硅材料和电容测量，所以其 BAROCAP 传感器具有低滞后性、出色的准确度和长期稳定性的特点。
工作原理
BAROCAP 是一种微型机械传感器，它利用其硅膜的尺寸变化来测量压力。随着周围压力增加或降低，膜会弯曲，从而增大或减小传感器内部真空间隙的高度。真空间隙相对的两个面充当电极，随着两个电极之间距离的变化，传感器的电容也会...
维萨拉 BAROCAP® 是维萨拉于 1985 年第 一次推出一种硅基微型机械压力传感器，可以在从气象到工业测量的广泛应用中提供可靠的性能。因为结合 采用了两项强大技术 —— 单晶硅材料和电容测量，所以其 BAROCAP 传感器具有低滞后性、出色的准确度和长期稳定性的特点。
工作原理
BAROCAP 是一种微型机械传感器，它利用其硅膜的尺寸变化来测量压力。随着周围压力增加或降低，膜会弯曲，从而增大或减小传感器内部真空间隙的高度。真空间隙相对的两个面充当电极，随着两个电极之间距离的变化，传感器的电容也会发生变化。测量电容并将其转换为压力读数。BAROCAP 传感器属性 —— 该传感器的单晶硅材质带来了良好的特性：弹性好、滞后性低、重复性好、低温依赖性和卓 越的长期稳定性。电容式结构使传感器具有较宽的动态范围，并为超压阻断提供了内置机制。